Genesis-I型扫描电镜是全数字化控制,专业级电子显微成像分析仪器。GENESIS-I型,具有先进电子光学系统,可接配专业EDS,获得精准快速获得微区化学成分;采用简单的圆柱型样品仓结构,手动样品台,是一款经济实用高精度分析型扫描电镜。
硬件特征:
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全数字化专业入门级扫描电镜;
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五轴手动样品台,更经济;
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优中心样品台,方便原位观察分析;
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接配可伸缩探测器,拓展专业EDS配置,也可拓展WDS,EBSD等专业微区分析附件;
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高速涡轮分子泵真空系统,可随时开关机,不影响抽速;
拓展专业X-ray能谱仪,探测器具有进退机制,用时获得工作条件,
不用则退出,避免干涉其他工作条件设置
软件特征:
用户友好:包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制;
特殊样品:动态聚焦(DF)、倾斜补偿;
高效拍照:自动照相(Auto Imaging); 大图拼接:连续视野照片缝合; 信号探测:支持SE、BSE、STEM同时;
鼠标键盘操作,简易快捷。
占地空间小,无需专业安装条件
性能指标
型号 |
Genesis-500 分析型扫描电镜 |
样品台 |
五轴优中心,全手动 X: 40mm Y: 40mm Z: 5-45mm R: 360°无限 T: -20°~90° |
电子枪 |
预对中钨灯丝 三极自动偏压 |
加速电压 |
200V-30KV (发射电流190μA @ 30KV/电子枪功率:5.7W) |
探测器 |
ET-SED |
物镜光阑 |
20μm 20μm 50μm 100μm 四位可变光阑 |
分辨率 |
4nm @30KV ( SEI) |
放大倍数 |
10-300,000 X |
样品室 |
内径φ150mm,Se、Bse、EDS等探测器接口 |
样品尺寸 |
Φ96mm X 50mm |
工作距离 |
0-45mm |
扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm, 电旋转 0-360° |
扫描模式 |
聚焦模式:320240 像素 ,用户可自定义可移动; TV模式:800x 600像素 ; 慢扫描模式,用于TV及聚焦模式; 照相模式:800600、960720、1024x768、16001200,32002400像素; 动态聚焦,倾斜补偿 |
图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
真空模式 |
高真空优于9x10-3Pa |
真空系统 |
全自动真空系统,真空高压连锁安全保护(高真空时间小于3分钟) -涡轮分子泵 |
自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和,物镜光阑摇摆对中,自动照相,自动大图拼接缝合。 |
软件系统 |
基于Win8,Virtuoso1.1控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
主机尺寸/重量 |
600(W)x623(D)x 1350(H)mm /120kg |
电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
耗材附件 |
预对中灯丝,样品托,碳导电胶带,导电银胶,工具 |
可选配置 |
四象限BSED | 3D重构成像软件 | EDS能谱仪| |