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Cube-X台式扫描电镜能谱一体机，是全数字化控制，专业电子显微成像分析仪器，配置有三级电磁透镜，大变焦范围，长工作距离，多孔径光阑，轻松获得材料表面高分辨、大景深、高质量的微观形貌导航图，拓展简易EDS，能够对微米亚微米范围元素组成进行快速鉴定，即使未经专业培训，也能够得心应手。在工作条件固定模式下，Cube-X也是一款高效率的成像检测设备。
硬件特征：
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全数字控制，专业级电子显微成像仪器；
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标配SE探测器，选配BSE探测器 ；
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可选样品仓低真空环境功能，直接测试非导电样品；
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可选内置一体化简单易用EDS；
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XYZ三轴大行程自动样品台，可选RT轴自动控制（降低Z轴行程）；
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多重弹簧橡胶隔振减振系统；
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主机设计紧凑，系统高度集成，良好散热及电磁兼容性能；
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轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。
多工位马达驱动样品台 X Y Z行程：45/45/50mm 手动倾斜旋转样品
高档轻质合金外壳，数字加工成型，具有良好电磁屏蔽功能。
拓展：简单易用X-ray能谱（EDS）
能够快速获得微米亚微米范围感兴趣区化学元素成分信息，用户无需了解能谱技术知识，按照厂商预设程序，简单培训即可工作，配置尽可能简单快速。
特点：
自动定性定量； 自动谱峰能量校准；
自动选择通道宽度及时间常数； 采集电镜图像，可同时采集谱图像，可叠加元素伪彩；
元素面分布和线扫描，多基于谱图像的分析提取；
探测晶体面积10~30mm²，但输出10万Cps左右;
无需液氮制冷
软件特征：
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用户友好：包含多用户环境、一键成像、自动调节、灯丝寿命记录、远程诊断控制；
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特殊样品：动态聚焦（DF）、倾斜补偿；
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高效拍照：自动照相（Auto Imaging）； 大图拼接：连续视野照片缝合；
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信号探测：支持SE、BSE、STEM同时；
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鼠标键盘操作，简易快捷。
安装尺寸图：
性能指标：
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型号 |
Cube-X 台式电镜能谱一体机 |
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样品台 |
XYZ三轴自动，RT手动 -Y: 45mm （自动） |
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电子枪 |
预对中钨灯丝，三极自动偏压，偏压与加速电压关联 |
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加速电压 |
200V-30KV ，数字化高压电源，连续可调 |
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探测器 |
E-T型 SE detector, 四分割半导体固体BSE detector（选购） |
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物镜光阑 |
四孔位可变光阑，20~100μm |
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分辨率 |
5nm @30KV SE Image 8nm@30KV BSE Image |
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放大倍数 |
20x-300,000 x |
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样品室 |
Se、Bse、EDS探测器接口， 4个其他接口 |
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样品尺寸 |
Φ90mm x 45mm（H） |
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工作距离 |
0-48mm |
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扫描光栅运动 |
电位移 ±50μm， 电旋转 0-360° |
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视频显示模式 |
聚焦模式：320240 像素 ，尺寸可变 TV模式：800x 600像素 慢扫描模式:用于TV及聚焦模式。 照相模式：800600、960720、1024x768、16001200、32002400像素 |
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扫描 |
动态聚焦，倾斜补偿 |
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图像格式 |
JPG、TIFF、bmp、PNG |
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真空系统 |
全自动真空系统，真空高压连锁安全保护 -涡轮分子泵 -旋片式机械真空泵 -电动阀门系统：真空闸板阀、电磁阀等 -高真空优于7.5x10-3Pa （从大气到达高真空小于3分钟） -低真空模式 10-230Pa （选配） |
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自动功能 |
亮度/对比度, 聚焦, 电子枪对中、偏压、饱和，物镜光阑摇摆对中，自动照相存储 |
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软件系统 |
基于Win10，Virtuoso控制软件. 内嵌长度角度面积测量、图像编辑处理工具。鼠标键盘操作。 |
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主机尺寸/重量 |
410(W）x440（D）x 520（H）mm /65kg |
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电源 |
单相交流 220V 、50Hz、1KW |
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耗材附件 |
预对中灯丝，样品托，碳导电胶带，工具 |
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EDS能谱仪 All-in-one mode OXFORD/BRUKER/EDAX
拓展：简易X-ray能谱（EDS）
主要针对感兴趣区进行元素定性和半定量，能够快速获得结果，能够较为快速的进行元素面分布采集。
用户无需了解能谱技术知识，按照厂商预设程序，简单培训即可工作，配置尽可能简单快速。
特点： 自动定性定量； 自动谱峰能量校准；
自动选择通道宽度及时间常数； 采集电镜图像，可同时采集谱图像，可叠加元素伪彩；
元素面分布和线扫描，多基于谱图像的分析提取；
探测晶体面积10~30mm²，但输出10万Cps左右;
无需液氮制冷